Gigaphoton将投资50亿日元建厂生产DUV光刻机核心设备光源

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Gigaphoton将投资50亿日元建厂生产DUV光刻机核心设备光源：日本公司Gigaphoton将投资50亿日元在日本建设新厂房，生产DUV（深紫外）光刻机的核心设备光源，目前工厂建设正在进行中。如果Gigaphot...

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Gigaphoton将投资50亿日元建厂生产DUV光刻机核心设备光源：日本公司Gigaphoton将投资50亿日元在日本建设新厂房，生产DUV（深紫外）光刻机的核心设备光源，目前工厂建设正在进行中。如果Gigaphoton的新厂房在2023年内竣工，那么该公司的产能将提高至2020年财年的将近两倍。据悉，Gigaphoton公司是日本最大工程机械企业小松的子公司，其在光刻机光源设备中占据高达50%的市场份额，多年来一直向ASML供货。